48387-11: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса IMS-4f

Для измерений тока вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов, в зависимости от отношения массы к заряду вторичных ионов или от времени травления.

Основные данные
Госреестр №	48387-11
Наименование	Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый с системой динамического переноса
Модель	IMS-4f
Технические условия	тех.документация фирмы
Класс СИ	31.01
Год регистрации	2011
Методика поверки	МП 48387-11
Межповерочный интервал	1 год
Страна-производитель	Франция
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ"
Адрес	119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1
Руководитель	Тодуа Павел Андреевич
Телефон	(8*095) 935-97-77
Факс	132-60-13
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	. .
Номер сертификата	44654
Тип сертификата (На серию или на партию)	Е
Дата протокола	Приказ 6354 от 06.12.11 п.07

Скачать