48096-11: Мера высоты Tencor Instruments SHS-9400A
Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^9-4) м и поверки (калибровки) профилометра AlphaStep 200.
| Основные данные | |
|---|---|
| Госреестр № | 48096-11 |
| Наименование | Мера высоты |
| Модель | Tencor Instruments SHS-9400A |
| Технические условия | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2011 |
| Методика поверки | МП 48096-11 |
| Межповерочный интервал | 1 год |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование | ГЦИ СИ ВНИИМС |
| Адрес | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель | Кононогов Сергей Алексеевич |
| Телефон | (8*095) 437-55-77 |
| Факс | 437-56-66 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 44266 |
| Тип сертификата (На серию или на партию) | Е |
| Дата протокола | Приказ 6290 от 31.10.11 п.03 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Скачать
48096-11: Описание типа СИ
498 КБ Скачать