46672-11: Меры рельефные Кварц-XY1400/Z90нм

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4)м и поверки (калибровки) оптических, оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, а также других микроскопов и средств измерений малой длины.

Основные данные
Госреестр №	46672-11
Наименование	Меры рельефные
Модель	Кварц-XY1400/Z90нм
Технические условия	ТУ 4254-001-58699387-2010
Класс СИ	27.01
Год регистрации	2011
Методика поверки	МП 46672-11
Межповерочный интервал	1 год
Страна-производитель	Россия
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес	119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель	Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон	(8*095) 437-55-77
Факс	437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	21.04.2016
Номер сертификата	42471
Тип сертификата (На серию или на партию)	С
Дата протокола	Приказ 1872 от 21.04.11 п.02

Скачать