45266-10: Микроскоп растровый электронный SUPRA-25

Для проведения измерений линейных размеров топологических элементов, толщин и глубин залегания технологических слоев больших и сверхбольших интегральных схем и параметров микрорельефа поверхности различных объектов в твердой фазе методом растровой электронной микроскопии. Область применения - впроизводственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".

Основные данные
Госреестр №	45266-10
Наименование	Микроскоп растровый электронный
Модель	SUPRA-25
Технические условия	тех.документация фирмы
Класс СИ	27.01
Год регистрации	2010
Методика поверки	ГОСТ Р 8.631-07
Межповерочный интервал	6 месяцев
Страна-производитель	Германия
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ВНИИОФИ
Адрес	119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель	Иванов Вячеслав Семенович
Телефон	(8*095) 437-56-33
Факс	437-31-47
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	. .
Номер сертификата	40914
Тип сертификата (На серию или на партию)	Е
Дата протокола	03д2 от 29.07.10 п.295

Скачать