45265-10: Измеритель параметров рельефа поверхности HRP-240
Для контроля морфологических параметров поверхности полупроводниковых структур. Область применения - в производственной лаборатории ФГУП "ФНПЦ НИИИС им. Ю.Е. Седакова".
| Основные данные | |
|---|---|
| Госреестр № | 45265-10 |
| Наименование | Измеритель параметров рельефа поверхности |
| Модель | HRP-240 |
| Технические условия | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 27.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Методика поверки | МП ВНИИОФИ |
| Межповерочный интервал | 1 год |
| Страна-производитель | США |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование | ГЦИ СИ ВНИИОФИ |
| Адрес | 119361, г.Москва, Озерная ул., 46 |
| Руководитель | Иванов Вячеслав Семенович |
| Телефон | (8*095) 437-56-33 |
| Факс | 437-31-47 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40913 |
| Тип сертификата (На серию или на партию) | Е |
| Дата протокола | 03д2 от 29.07.10 п.294 |
Производитель / Заявитель
Фирма "KLA-Tencor Corporation", США
США
160 Rio Robles San Jose, CA 95134-1809 тел. 408-475-3000; факс 408-875-3030 www.kla-tencor.com, One Technology Drive; Milpitas, California 95035; U.S.A. тел. +1-408-875-3000; Corporate факс +1-408-875-4144, E-mail: info@kla-tencor.com
Скачать
45265-10: Описание типа СИ
193.8 КБ Скачать