44975-10: Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый IMS-7f
Для измерений массы вторичных ионов, возникающих при послойном травлении исследуемого объекта потоком первичных ионов. Прибор применяется для контроля дозы имплантации, измерений глубин р-n переходов, разработки технологических процессов, послойного элементного анализа в материаловедении, микроэлектронике и полупроводниковых технологиях, геологии, биологии, медицине, металлургии.
| Основные данные | |
|---|---|
| Госреестр № | 44975-10 |
| Наименование | Масс-спектрометр вторично-ионный микрозондовый |
| Модель | IMS-7f |
| Технические условия | тех.документация фирмы |
| Класс СИ | 31.01 |
| Год регистрации | 2010 |
| Методика поверки | МП ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Межповерочный интервал | 1 год |
| Страна-производитель | Франция |
| Центр сертификации СИ | |
| Наименование | ГЦИ СИ ОАО "НИЦПВ" |
| Адрес | 119421, г.Москва, ул.Новаторов, 40, корп.1 |
| Руководитель | Тодуа Павел Андреевич |
| Телефон | (8*095) 935-97-77 |
| Факс | 132-60-13 |
| Информация о сертификате | |
| Срок действия сертификата | . . |
| Номер сертификата | 40536 |
| Тип сертификата (На серию или на партию) | Е |
| Дата протокола | 03д от 29.07.10 п.352 |
Производитель / Заявитель
Фирма "Cameca", Франция
Франция
103 Bd. Saint-Denis / BP 6, 92403 COURBEVOIE Cedex - France. Тел. (33-1) 43 34 62 00. Факс (33-1) 43 34 63 50, E-mail: sales@cameca.fr
Скачать
44975-10: Описание типа СИ
172.9 КБ Скачать