43467-09: Эллипсометр спектральный APECS 3000

Для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления. Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ. Может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.

Основные данные
Госреестр №	43467-09
Наименование	Эллипсометр спектральный
Модель	APECS 3000
Технические условия	тех.документация фирмы
Класс СИ	37
Год регистрации	2009
Методика поверки	Приложение к Руководству по эксплуатации ВНИИОФИ
Межповерочный интервал	1 год
Страна-производитель	Германия
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ВНИИОФИ
Адрес	119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель	Иванов Вячеслав Семенович
Телефон	(8*095) 437-56-33
Факс	437-31-47
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	. .
Номер сертификата	38816
Тип сертификата (На серию или на партию)	Е
Дата протокола	13д2 от 24.12.09 п.45

Скачать