41749-09: Микроскоп сканирующий электронный NanoSEM-3D

Для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин), а также при проведении фундаментальных и прикладных исследований для разработки данных элементов.

Основные данные
Госреестр №	41749-09
Наименование	Микроскоп сканирующий электронный
Модель	NanoSEM-3D
Технические условия	тех.документация фирмы
Класс СИ	27.01
Год регистрации	2009
Методика поверки	МП ВНИИМС
Межповерочный интервал	2 года
Страна-производитель	США
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес	119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель	Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон	(8*095) 437-55-77
Факс	437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	. .
Номер сертификата	36757
Тип сертификата (На серию или на партию)	Е
Дата протокола	10 от 05.11.09 п.22

Скачать