41748-09: Мера периода линейная VLSI NLS6-0.1

Для передачи размера единицы длины в диапазоне 100 мкм...1 нм и поверки (калибровки) измерительных электронных микроскопов, предназначенных для контроля параметров топографии в плоскости XY при производстве изделий микроэлектроники (пластин). Область применения: оснащение научно-исследовательских и производственных лабораторий по выпуску и контролю за геометрическими параметрами электронных интегральных микросхем для калибровки и поверки указанного оборудования.

Основные данные
Госреестр №	41748-09
Наименование	Мера периода линейная
Модель	VLSI NLS6-0.1
Технические условия	тех.документация фирмы
Класс СИ	27.01
Год регистрации	2009
Методика поверки	МП ВНИИМС
Межповерочный интервал	2 года
Страна-производитель	США
Центр сертификации СИ
Наименование	ГЦИ СИ ВНИИМС
Адрес	119361, г.Москва, Озерная ул., 46
Руководитель	Кононогов Сергей Алексеевич
Телефон	(8*095) 437-55-77
Факс	437-56-66
Информация о сертификате
Срок действия сертификата	. .
Номер сертификата	36756
Тип сертификата (На серию или на партию)	Е
Дата протокола	10 от 05.11.09 п.21

Скачать